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山西大學(xué)就低溫顯微鏡,、原子層沉積設(shè)備項(xiàng)目申請(qǐng)單一來(lái)源方式采購(gòu),，該項(xiàng)目預(yù)算金額372萬(wàn)元，擬成交供應(yīng)商為太原能譜科技有限公司,。

山西大學(xué)申請(qǐng)購(gòu)置的低溫顯微鏡主要用于單量子體系量子相干動(dòng)力學(xué)特性的實(shí)驗(yàn)研究,。該項(xiàng)目包括3.2K - 350K全干式標(biāo)準(zhǔn)樣品腔基礎(chǔ)系統(tǒng)，樣品空間：Φ53mm ×63mm,；5個(gè)光學(xué)窗口,，觸屏控制模式；室溫鏡頭集成套裝（包括特殊設(shè)計(jì)腔體,、屏蔽罩,、鏡頭加熱環(huán)、UPS等）,；真空適用型100X蔡司鏡頭,，NA0.9，工作距離1mm（包含鏡頭轉(zhuǎn)接環(huán),，準(zhǔn)直系統(tǒng)）,；閉環(huán)位移器套裝等。該款低溫顯微鏡集成了低溫恒溫器和顯微物鏡,，擁有穩(wěn)定的溫控和較低的振動(dòng),，利用高數(shù)值孔徑低溫物鏡可以實(shí)現(xiàn)低溫高精度顯微成像，滿足實(shí)驗(yàn)室科研教學(xué)過(guò)程中單量子體系降溫和高信噪比觀測(cè)的要求,。

原子層沉積設(shè)備主要用于微納光學(xué)的實(shí)驗(yàn)研究,。該項(xiàng)目包括6路前驅(qū)源管路，其中5路前驅(qū)源管路都可以適應(yīng)低蒸汽壓源,、高蒸汽壓源,、或氣體前驅(qū)源，1路配有前驅(qū)源助推裝置,，8英寸樣品室,，等離子源，一個(gè)模制,、閉環(huán),、前驅(qū)體加熱套，14.6CFM泵以及包含操作系統(tǒng)的計(jì)算機(jī),。該設(shè)備可用于已經(jīng)開(kāi)展的微納材料加工過(guò)程中所必需的高質(zhì)量樣品的表面鈍化防護(hù)納米級(jí)別鍍膜,。不論什么特殊形狀、復(fù)雜的,、高深寬比的器件,，該設(shè)備均可在樣品表面鍍上均勻的高密度的薄膜，對(duì)于器件的鈍化防護(hù)起著至關(guān)重要的作用，該設(shè)備將是未來(lái)開(kāi)展科研任務(wù)的核心設(shè)備,，將承擔(dān)大量的科研教學(xué)任務(wù),，為實(shí)驗(yàn)室發(fā)展及有關(guān)項(xiàng)目的實(shí)施提供必要的保障。

根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,，我們購(gòu)買的實(shí)驗(yàn)設(shè)備需要滿足的主要技術(shù)參數(shù)如下：

1,、低溫顯微鏡，型號(hào)：Cryo-OPTIC S50 CO,，參數(shù)：自動(dòng)控溫：3.2K - 350K 樣品臺(tái)（無(wú)液氦）,，溫度穩(wěn)定性：<10mK（峰-峰值），震動(dòng)穩(wěn)定性： <80nm（峰-峰值,，已含位移器震動(dòng)）,，降溫時(shí)間：300K – 4.2K ~3.5小時(shí)，樣品空間：Φ53mm ×63mm,，熱沉數(shù)量：2個(gè),，光學(xué)窗口：5個(gè)光學(xué)窗口，鏡頭類型：Zeiss 100x數(shù)值孔徑： 0.9,，工作距離：4mm; 1mm,，電學(xué)通道：20個(gè)，接口面板：2個(gè),，可集成RF, DC, 光纖等,，樣品移動(dòng)：集成三維位移器，位置漂移：<1um/K（變溫過(guò)程中最大漂移率）<100nm (溫度不變時(shí)最大漂移范圍),。

2,、原子層沉積設(shè)備，型號(hào)：Savannah S200,，參數(shù)：設(shè)備可用于8寸及以下的平面樣品的薄膜生長(zhǎng),，反應(yīng)腔高度不高于8mm。反應(yīng)腔采用雙區(qū)獨(dú)立加熱,，分別用于加熱樣品和腔室壁,。基片加熱溫度最高350℃,，控溫精度±1℃,。單片反應(yīng)腔抽取真空速度須在1分鐘內(nèi)達(dá)到510^-2 Torr，充腔時(shí)間須在1分鐘內(nèi)完成,。配備6路前驅(qū)源管路，其中5路前驅(qū)源管路都可以適應(yīng)低蒸汽壓源,、高蒸汽壓源,、或氣體前驅(qū)源，其中1路配有前驅(qū)源助推裝置。前驅(qū)源脈沖時(shí)間可精確控制到0.015s,，以TMA為例,，其脈沖時(shí)間可短到0.015s。從前驅(qū)源瓶到管路,，腔室,，尾氣管路，粉末阱等各部件,，只要前驅(qū)源能達(dá)到的地方都有加熱功能,，避免前驅(qū)源的冷壁吸附造成顆粒。

目前,，能滿足上述技術(shù)要求的低溫顯微鏡只有美國(guó)Montana Instruments公司生產(chǎn),， Quantum Design中國(guó)子公司是美國(guó)Montana Instruments公司在亞洲及歐洲地區(qū)的唯一代理商，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購(gòu)項(xiàng)目的國(guó)內(nèi)唯一分銷商,。能滿足上述技術(shù)要求的原子層沉積設(shè)備只有美國(guó)維易科（Veeco）儀器公司生產(chǎn),，香港電子器材有限公司是美國(guó)維易科（Veeco）儀器公司在亞太地區(qū)的唯一代理商，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購(gòu)項(xiàng)目的國(guó)內(nèi)唯一分銷商,。因此,，申請(qǐng)以單一來(lái)源方式采購(gòu)。

單位會(huì)商和專家論證意見(jiàn)：經(jīng)山西大學(xué)激光光譜研究所所領(lǐng)導(dǎo),、科研人員和采購(gòu)小組調(diào)研,，聘請(qǐng)校外專家進(jìn)行詳細(xì)的論證，該設(shè)備的采購(gòu)符合我國(guó)采購(gòu)法關(guān)于單一來(lái)源采購(gòu)的要求,，申請(qǐng)此項(xiàng)目以單一來(lái)源方式采購(gòu),。

現(xiàn)將以上情況進(jìn)行公示，向潛在政府采購(gòu)供應(yīng)商征求意見(jiàn),，征求意見(jiàn)期限從2020年10月20日起至2020年10月27日止（五個(gè)工作日）,。潛在政府采購(gòu)供應(yīng)商對(duì)公示內(nèi)容有異議的，請(qǐng)?jiān)诠酒趦?nèi)以實(shí)名書(shū)面（包括聯(lián)系人,、地址,、聯(lián)系電話）形式向采購(gòu)單位或山西省財(cái)政廳政府采購(gòu)管理處反饋，逾期不再受理,。

供應(yīng)商名稱：太原能譜科技有限公司

供應(yīng)商地址：太原市塢城路43號(hào)辦公樓二層

供應(yīng)商聯(lián)系人：李紫玲  聯(lián)系電話：18535120512

采購(gòu)單位：山西大學(xué)

地址:山西省太原市塢城路92號(hào)

項(xiàng)目聯(lián)系人：范卓華 聯(lián)系電話：0351-7011255

郵編：030006

                        單一來(lái)源專家論證意見(jiàn)表

                                                山西大學(xué)

                                                                      2020年10月20日