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通知公告

山西大學(xué)低溫顯微鏡,、原子層沉積設(shè)備（SDDY-20005）單一來源征求意見公示 來源： 作者：

山西大學(xué)就低溫顯微鏡、原子層沉積設(shè)備項目申請單一來源方式采購,，該項目預(yù)算金額372萬元,，擬成交供應(yīng)商為太原能譜科技有限公司。

山西大學(xué)申請購置的低溫顯微鏡主要用于單量子體系量子相干動力學(xué)特性的實驗研究,。該項目包括3.2K - 350K全干式標準樣品腔基礎(chǔ)系統(tǒng),，樣品空間：Φ53mm ×63mm；5個光學(xué)窗口,，觸屏控制模式,；室溫鏡頭集成套裝（包括特殊設(shè)計腔體、屏蔽罩,、鏡頭加熱環(huán),、UPS等）；真空適用型100X蔡司鏡頭,，NA0.9,，工作距離1mm（包含鏡頭轉(zhuǎn)接環(huán)，準直系統(tǒng)）,；閉環(huán)位移器套裝等,。該款低溫顯微鏡集成了低溫恒溫器和顯微物鏡，擁有穩(wěn)定的溫控和較低的振動,，利用高數(shù)值孔徑低溫物鏡可以實現(xiàn)低溫高精度顯微成像,，滿足實驗室科研教學(xué)過程中單量子體系降溫和高信噪比觀測的要求。

原子層沉積設(shè)備主要用于微納光學(xué)的實驗研究,。該項目包括6路前驅(qū)源管路,，其中5路前驅(qū)源管路都可以適應(yīng)低蒸汽壓源、高蒸汽壓源,、或氣體前驅(qū)源,，1路配有前驅(qū)源助推裝置，8英寸樣品室,，等離子源,，一個模制、閉環(huán),、前驅(qū)體加熱套,，14.6CFM泵以及包含操作系統(tǒng)的計算機。該設(shè)備可用于已經(jīng)開展的微納材料加工過程中所必需的高質(zhì)量樣品的表面鈍化防護納米級別鍍膜,。不論什么特殊形狀,、復(fù)雜的、高深寬比的器件,，該設(shè)備均可在樣品表面鍍上均勻的高密度的薄膜,，對于器件的鈍化防護起著至關(guān)重要的作用,，該設(shè)備將是未來開展科研任務(wù)的核心設(shè)備，將承擔(dān)大量的科研教學(xué)任務(wù),，為實驗室發(fā)展及有關(guān)項目的實施提供必要的保障,。

根據(jù)實驗要求，我們購買的實驗設(shè)備需要滿足的主要技術(shù)參數(shù)如下：

1,、低溫顯微鏡,，型號：Cryo-OPTIC S50 CO，參數(shù)：自動控溫：3.2K - 350K 樣品臺（無液氦）,，溫度穩(wěn)定性：<10mK（峰-峰值）,，震動穩(wěn)定性： <80nm（峰-峰值，已含位移器震動）,，降溫時間：300K – 4.2K ~3.5小時,，樣品空間：Φ53mm ×63mm，熱沉數(shù)量：2個,，光學(xué)窗口：5個光學(xué)窗口，鏡頭類型：Zeiss 100x數(shù)值孔徑： 0.9,，工作距離：4mm; 1mm,，電學(xué)通道：20個，接口面板：2個,，可集成RF, DC, 光纖等,，樣品移動：集成三維位移器，位置漂移：<1um/K（變溫過程中最大漂移率）<100nm (溫度不變時最大漂移范圍),。

2,、原子層沉積設(shè)備，型號：Savannah S200,，參數(shù)：設(shè)備可用于8寸及以下的平面樣品的薄膜生長,，反應(yīng)腔高度不高于8mm。反應(yīng)腔采用雙區(qū)獨立加熱,，分別用于加熱樣品和腔室壁,。基片加熱溫度最高350℃,，控溫精度±1℃,。單片反應(yīng)腔抽取真空速度須在1分鐘內(nèi)達到510^-2Torr，充腔時間須在1分鐘內(nèi)完成,。配備6路前驅(qū)源管路,，其中5路前驅(qū)源管路都可以適應(yīng)低蒸汽壓源、高蒸汽壓源,、或氣體前驅(qū)源,，其中1路配有前驅(qū)源助推裝置,。前驅(qū)源脈沖時間可精確控制到0.015s，以TMA為例,，其脈沖時間可短到0.015s,。從前驅(qū)源瓶到管路，腔室,，尾氣管路,，粉末阱等各部件，只要前驅(qū)源能達到的地方都有加熱功能,，避免前驅(qū)源的冷壁吸附造成顆粒,。

目前，能滿足上述技術(shù)要求的低溫顯微鏡只有美國Montana Instruments公司生產(chǎn),， Quantum Design中國子公司是美國Montana Instruments公司在亞洲及歐洲地區(qū)的唯一代理商,，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購項目的國內(nèi)唯一分銷商。能滿足上述技術(shù)要求的原子層沉積設(shè)備只有美國維易科（Veeco）儀器公司生產(chǎn),，香港電子器材有限公司是美國維易科（Veeco）儀器公司在亞太地區(qū)的唯一代理商,，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購項目的國內(nèi)唯一分銷商。因此,，申請以單一來源方式采購,。

單位會商和專家論證意見：經(jīng)山西大學(xué)激光光譜研究所所領(lǐng)導(dǎo)、科研人員和采購小組調(diào)研,，聘請校外專家進行詳細的論證,，該設(shè)備的采購符合我國采購法關(guān)于單一來源采購的要求，申請此項目以單一來源方式采購,。

現(xiàn)將以上情況進行公示,，向潛在政府采購供應(yīng)商征求意見，征求意見期限從2020年10月20日起至2020年10月27日止（五個工作日）,。潛在政府采購供應(yīng)商對公示內(nèi)容有異議的,，請在公示期內(nèi)以實名書面（包括聯(lián)系人、地址,、聯(lián)系電話）形式向采購單位或山西省財政廳政府采購管理處反饋,，逾期不再受理。

供應(yīng)商名稱：太原能譜科技有限公司

供應(yīng)商地址：太原市塢城路43號辦公樓二層

供應(yīng)商聯(lián)系人：李紫玲聯(lián)系電話：18535120512

采購單位：山西大學(xué)

地址:山西省太原市塢城路92號

項目聯(lián)系人：范卓華聯(lián)系電話：0351-7011255

郵編：030006

單一來源專家論證意見表

采購項目名稱		低溫顯微鏡,、原子層沉積設(shè)備
項目清單	1	低溫顯微鏡,，型號：Cryo-OPTIC S50 CO
項目清單	2	原子層沉積設(shè)備，型號：Savannah S200
論證專家基本情況	序號	姓名	職稱	工作單位
	1	降雨強	教授	中科院遺傳與生物發(fā)育研究所
	2	李傳亮	教授	太原科技大學(xué)
	3	薛晨陽	教授	中北大學(xué)
申請單一來源理由	根據(jù)實驗要求,，我們購買的實驗設(shè)備需要滿足的主要技術(shù)參數(shù)如下： 1,、低溫顯微鏡，型號：Cryo-OPTIC S50 CO，參數(shù)：自動控溫：3.2K - 350K 樣品臺（無液氦）,，溫度穩(wěn)定性：<10mK（峰-峰值）,，震動穩(wěn)定性： <80nm（峰-峰值，已含位移器震動）,，降溫時間：300K – 4.2K~3.5小時,，樣品空間：Φ53mm ×63mm，熱沉數(shù)量：2個,，光學(xué)窗口：5個光學(xué)窗口,，鏡頭類型：Zeiss 100x，數(shù)值孔徑： 0.9,，工作距離：4mm到 1mm,，電學(xué)通道：20個，接口面板：2個,，可集成RF, DC, 光纖等,，樣品移動：集成三維位移器，位置漂移：<1um/K（變溫過程中最大漂移率）<100nm (溫度不變時最大漂移范圍),。 2,、原子層沉積設(shè)備，型號：Savannah S200,，參數(shù)：設(shè)備可用于8寸及以下的平面樣品的薄膜生長,，反應(yīng)腔高度不高于8mm。反應(yīng)腔采用雙區(qū)獨立加熱,，分別用于加熱樣品和腔室壁?；訜釡囟茸罡?50℃,，控溫精度±1℃。單片反應(yīng)腔抽取真空速度須在1分鐘內(nèi)達到510^-2Torr,，充腔時間須在1分鐘內(nèi)完成,。配備6路前驅(qū)源管路，其中5路前驅(qū)源管路都可以適應(yīng)低蒸汽壓源,、高蒸汽壓源,、或氣體前驅(qū)源，其中1路配有前驅(qū)源助推裝置,。前驅(qū)源脈沖時間可精確控制到0.015s,，以TMA為例，其脈沖時間可短到0.015s,。從前驅(qū)源瓶到管路,，腔室，尾氣管路，粉末阱等各部件,，只要前驅(qū)源能達到的地方都有加熱功能,，避免前驅(qū)源的冷壁吸附造成顆粒。目前,，能滿足上述技術(shù)要求的低溫顯微鏡只有美國Montana Instruments公司生產(chǎn),， Quantum Design中國子公司是美國Montana Instruments公司在亞洲及歐洲地區(qū)的唯一代理商，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購項目的國內(nèi)唯一分銷商,。能滿足上述技術(shù)要求的原子層沉積設(shè)備只有美國維易科（Veeco）儀器公司生產(chǎn),，香港電子器材有限公司是美國維易科（Veeco）儀器公司在亞太地區(qū)的唯一代理商，并且該公司委托太原能譜科技有限公司為該采購項目的國內(nèi)唯一分銷商,。因此,，申請以單一來源方式采購。
專家論證意見	降雨強：此次山西大學(xué)擬購置的低溫顯微鏡用于低溫下單量子體系熒光探測需要良好的溫度穩(wěn)定性,、震動穩(wěn)定性以及高信噪比的低溫顯微成像,。低溫恒溫與顯微成像相結(jié)合的方案只有美國Montana Instruments公司可以提供，滿足實驗所需參數(shù),。擬購置的原子層沉積設(shè)備用于微納材料的加工,，需要的是單腔熱壁設(shè)計的腔室，可以實現(xiàn)雙區(qū)獨立均勻加熱,，保證腔室底部和腔室壁的溫度獨立可控,，且保證腔室壁溫度和底部一致。只有Veeco公司的Savannah S200具有上述所有功能,，建議以單一來源方式采購該兩臺設(shè)備,。李傳亮：此次山西大學(xué)擬購置的低溫顯微鏡用于單量子體系量子相干動力學(xué)特性研究需要同時滿足低溫條件和高信噪比熒光探測。需要滿足的主要技術(shù)參數(shù)包括高的溫度穩(wěn)定性和可調(diào)諧性,、高震動穩(wěn)定性,、高熒光收集效率以及低溫樣品可移動。目前,，滿足所列技術(shù)參數(shù)的系統(tǒng)只有美國Montana Instruments公司可以提供,。此次山西大學(xué)擬購置的原子層沉積設(shè)備用于微納光學(xué)的實驗研究。其對前驅(qū)源脈沖時間需精確控制到0.015s,，以TMA為例,，其脈沖時間需短到0.015s；對膜厚均勻性的控制精確度較高,，需達到<±1.5％,，目前只有Veeco公司生產(chǎn)的原子層沉積能夠滿足上述要求。所以建議該兩臺設(shè)備以單一來源的方式進行采購,。薛晨陽：此次山西大學(xué)擬購置的低溫顯微鏡用于低溫單量子體系量子相干動力學(xué)特性研究,，可以保證樣品溫度可操控的同時，實現(xiàn)單量子體系熒光顯微成像和高信噪比熒光探測。該低溫顯微鏡是滿足量子相干測量和操控的核心實驗設(shè)備之一,。目前該產(chǎn)品只有美國Montana Instruments公司可以提供,。此次山西大學(xué)擬購置的原子層沉積設(shè)備將用于微納光學(xué)的實驗研究。其加熱部分從前驅(qū)源到管路,，腔室,，尾氣管路，粉末阱等各部件,，只要前驅(qū)源能到達的地方都有加熱功能,，避免前驅(qū)源的冷壁吸附造成顆粒，目前只有Veeco公司的該系列產(chǎn)品滿足這些需求,。所以建議以單一來源方式采購該兩臺設(shè)備,。