一、項(xiàng)目信息
采購(gòu)人：山西大學(xué)
項(xiàng)目名稱(chēng)： 山西大學(xué)紫外光刻機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目
擬采購(gòu)的貨物或服務(wù)的說(shuō)明：
山西大學(xué)擬購(gòu)置ABM Inc公司生產(chǎn)的紫外光刻機(jī)主要用于離子阱量子計(jì)算研究。在芯片離子阱量子計(jì)算的實(shí)驗(yàn)中，需要通過(guò)芯片阱的設(shè)計(jì)來(lái)突破常規(guī)離子阱的規(guī)模限制，從而獲得更大規(guī)模的離子阱量子位，其光刻有效范圍： 6英寸方形；曝光精度：0.6um微米(NUV)；分辨率小于1微米；光照強(qiáng)度不均勻性指標(biāo)（以365nm波長(zhǎng)為參考）≤±3% 輻照中心點(diǎn)6英寸范圍內(nèi)；對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)為雙CCD照相對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)連續(xù)視頻縮放范圍在100-800倍 ，分視野；對(duì)準(zhǔn)精度≤±0.5微米；放大倍率連續(xù)可調(diào)：標(biāo)配100-800X。目前能滿足上述特點(diǎn)的紫外光刻機(jī)只有美國(guó)ABM Inc公司生產(chǎn)，所以申請(qǐng)單一來(lái)源購(gòu)置該紫外光刻機(jī)。
本次擬購(gòu)買(mǎi)的美國(guó)ABM Inc公司生產(chǎn)的紫外光刻機(jī)設(shè)計(jì)易于操作、穩(wěn)定性極高，具有穩(wěn)定的可重復(fù)曝光功能，可以實(shí)現(xiàn)均勻可控的紫外光輸出，是完成實(shí)驗(yàn)研究和教學(xué)科研工作中必不可少的設(shè)備之一。
擬采購(gòu)的貨物或服務(wù)的預(yù)算金額： 999600 元
采用單一來(lái)源采購(gòu)方式的原因及說(shuō)明：目前滿足上述參數(shù)的紫外光刻機(jī)，只有美國(guó)ABM Inc公司生產(chǎn)，北京泰和浩天科技有限公司是美國(guó)ABM Inc公司在中國(guó)此項(xiàng)目授權(quán)的唯一代理商，因此，申請(qǐng)以單一來(lái)源方式采購(gòu)。
二、擬定供應(yīng)商信息
名稱(chēng)： 北京泰和浩天科技有限公司
地址： 北京市朝陽(yáng)區(qū)阜通東大街12號(hào)樓14層（15）1401
三、公示期限
2023 年 5 月 22 日至 2023 年 5 月 26 日（公示期限不得少于5個(gè)工作日）
四、其他補(bǔ)充事宜：
五、聯(lián)系方式
1.采購(gòu)人
聯(lián) 系 人： 程 斌
聯(lián)系地址： 山西省太原市塢城路92號(hào)
聯(lián)系電話： 0351-7011255
2.監(jiān)督部門(mén)
聯(lián)系人： 山西省財(cái)政廳政府采購(gòu)管理處
聯(lián)系地址: 太原市小店區(qū)學(xué)府街41號(hào)
聯(lián)系電話： 0351-4123278
六、附件
1、專(zhuān)業(yè)人員論證意見(jiàn)
2、紫外光刻機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目明細(xì)
附件2：
紫外光刻機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目明細(xì)
序號(hào) |
貨物名稱(chēng) |
數(shù)量 |
單位 |
預(yù)算單價(jià)（元） |
預(yù)算總價(jià)(元) |
品牌規(guī)格型號(hào)及配置技術(shù)參數(shù) |
備注 |
1 |
紫外光刻機(jī) |
1 |
套 |
999600 |
999600 |
1.主要技術(shù)指標(biāo)： *1.1 要求350W近紫外光源和雙通道固定光強(qiáng)和固定功率電源控制器，紫外波長(zhǎng)范圍350-450nm 6英寸方形光刻輻照輸出光源 *1.2 可達(dá)到輸出紫外光強(qiáng)照度參數(shù)如下： 365 nm – 18-20 mw/cm2 400 nm – 35-40 mw/cm2 *1.3 光刻有效范圍： 6英寸方形 *1.4 光照強(qiáng)度不均勻性指標(biāo)（以365nm波長(zhǎng)為參考）: ≤±3% （輻照中心點(diǎn)6英寸范圍內(nèi)） *1.5 光刻最佳分辨率-：≤0.6微米 *1.6 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)為雙CCD照相對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)連續(xù)視頻縮放范圍在100-800倍 *1.7 對(duì)準(zhǔn)精度:≤±0.5微米 *1.8 顯微鏡系統(tǒng)需具備位置記憶功能(即顯微鏡可以自動(dòng)回到上一次設(shè)定的位置) *1.9 具備氮?dú)馔ㄈ牍δ?可于掩模板和基板之間通入氮?dú)馐蛊浞蛛x) 1.10 需具備攜行補(bǔ)償模式的自動(dòng)Z軸方向水平補(bǔ)償功能 *1.11 對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)調(diào)整范圍：X軸±12.5mm，Y軸±12.5mm，θ角±5°，Theta精度：±0.0001度 1.12 曝光模式支持接近式、軟接觸、硬接觸、真空接觸； 1.13 配置溫度及氣流感應(yīng)器并帶有安全控制開(kāi)關(guān)； 1.14 配置氮?dú)馔罚捎糜谘谀ぐ搴突逯g分離 2. 光源部分 2.1 光強(qiáng)控制：恒光強(qiáng)和恒功率選擇控制，光強(qiáng)和功率可調(diào)； 3. 光強(qiáng)均勻性 3.1 ±3%，150mm″晶圓基板； 3.2 ±2%，100mm″晶圓基板； 3.3 ±1%，50mm″晶圓基板； 3.4 紫外光燈源波長(zhǎng)范圍：350～405nm； 3.5 曝光時(shí)間：0.1～999.9s聯(lián)系可調(diào)，最小調(diào)節(jié)尺度0.1s。 4. 配置 4.1 抗衍射光反射鏡及蠅眼棱鏡。 5. 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) 5.1 配備棱鏡對(duì)準(zhǔn)裝置，最小雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)間距≦10mm； 5.2 對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)調(diào)整范圍：X軸±12.5mm，Y軸±12.5mm，θ角±5°，Theta精度：±0.0001度； 6. 其他配置 6.1 進(jìn)口無(wú)油真空泵：壓力25-27mmHg； 6.2 抗震臺(tái)； |
進(jìn)口 |
合計(jì) |
999600 |
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2023-05-22
09.16
信息公告欄目測(cè)試09.06
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山西大學(xué)東山校區(qū)（一期第一階段）電力、軟件、建筑教學(xué)與實(shí)驗(yàn)樓實(shí)驗(yàn)室等建設(shè)工程—電建軟自部分招標(biāo)公告06.23
關(guān)于山西大學(xué)東山校區(qū)一期第二階段建設(shè)項(xiàng)目 D-1化學(xué)與基礎(chǔ)學(xué)院及配套用房建筑工程規(guī)劃方案的公示03.18
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