一,、項目信息
采購人：山西大學
項目名稱： 山西大學紫外光刻機采購項目
擬采購的貨物或服務的說明：
山西大學擬購置ABM Inc公司生產的紫外光刻機主要用于離子阱量子計算研究,。在芯片離子阱量子計算的實驗中，需要通過芯片阱的設計來突破常規(guī)離子阱的規(guī)模限制,，從而獲得更大規(guī)模的離子阱量子位,，其光刻有效范圍： 6英寸方形；曝光精度：0.6um微米(NUV),；分辨率小于1微米,；光照強度不均勻性指標（以365nm波長為參考）≤±3% 輻照中心點6英寸范圍內；對準系統(tǒng)為雙CCD照相對準系統(tǒng)連續(xù)視頻縮放范圍在100-800倍 ,，分視野,；對準精度≤±0.5微米；放大倍率連續(xù)可調：標配100-800X,。目前能滿足上述特點的紫外光刻機只有美國ABM Inc公司生產,，所以申請單一來源購置該紫外光刻機。
本次擬購買的美國ABM Inc公司生產的紫外光刻機設計易于操作,、穩(wěn)定性極高,，具有穩(wěn)定的可重復曝光功能，可以實現(xiàn)均勻可控的紫外光輸出,，是完成實驗研究和教學科研工作中必不可少的設備之一,。
擬采購的貨物或服務的預算金額： 999600 元
采用單一來源采購方式的原因及說明：目前滿足上述參數(shù)的紫外光刻機，只有美國ABM Inc公司生產,，北京泰和浩天科技有限公司是美國ABM Inc公司在中國此項目授權的唯一代理商,，因此，申請以單一來源方式采購,。
二,、擬定供應商信息
名稱： 北京泰和浩天科技有限公司
地址： 北京市朝陽區(qū)阜通東大街12號樓14層（15）1401
三、公示期限
2023 年 5 月 22 日至 2023 年 5 月 26 日（公示期限不得少于5個工作日）
四,、其他補充事宜：
五,、聯(lián)系方式
1.采購人
聯(lián) 系 人： 程 斌
聯(lián)系地址： 山西省太原市塢城路92號
聯(lián)系電話： 0351-7011255
2.監(jiān)督部門
聯(lián)系人： 山西省財政廳政府采購管理處
聯(lián)系地址: 太原市小店區(qū)學府街41號
聯(lián)系電話： 0351-4123278
六、附件
1、專業(yè)人員論證意見
2,、紫外光刻機采購項目明細
附件2：
紫外光刻機采購項目明細
序號 |
貨物名稱 |
數(shù)量 |
單位 |
預算單價（元） |
預算總價(元) |
品牌規(guī)格型號及配置技術參數(shù) |
備注 |
1 |
紫外光刻機 |
1 |
套 |
999600 |
999600 |
1.主要技術指標： *1.1 要求350W近紫外光源和雙通道固定光強和固定功率電源控制器,，紫外波長范圍350-450nm 6英寸方形光刻輻照輸出光源 *1.2 可達到輸出紫外光強照度參數(shù)如下： 365 nm – 18-20 mw/cm2 400 nm – 35-40 mw/cm2 *1.3 光刻有效范圍： 6英寸方形 *1.4 光照強度不均勻性指標（以365nm波長為參考）: ≤±3% （輻照中心點6英寸范圍內） *1.5 光刻最佳分辨率-：≤0.6微米 *1.6 對準系統(tǒng)為雙CCD照相對準系統(tǒng)連續(xù)視頻縮放范圍在100-800倍 *1.7 對準精度:≤±0.5微米 *1.8 顯微鏡系統(tǒng)需具備位置記憶功能(即顯微鏡可以自動回到上一次設定的位置) *1.9 具備氮氣通入功能(可于掩模板和基板之間通入氮氣使其分離) 1.10 需具備攜行補償模式的自動Z軸方向水平補償功能 *1.11 對準工作臺調整范圍：X軸±12.5mm，Y軸±12.5mm,，θ角±5°,，Theta精度：±0.0001度 1.12 曝光模式支持接近式、軟接觸,、硬接觸,、真空接觸； 1.13 配置溫度及氣流感應器并帶有安全控制開關,； 1.14 配置氮氣通路,，可用于掩膜板和基板之間分離 2. 光源部分 2.1 光強控制：恒光強和恒功率選擇控制，光強和功率可調,； 3. 光強均勻性 3.1 ±3%,，150mm″晶圓基板； 3.2 ±2%,，100mm″晶圓基板,； 3.3 ±1%，50mm″晶圓基板,； 3.4 紫外光燈源波長范圍：350～405nm,； 3.5 曝光時間：0.1～999.9s聯(lián)系可調，最小調節(jié)尺度0.1s,。 4. 配置 4.1 抗衍射光反射鏡及蠅眼棱鏡,。 5. 對準系統(tǒng) 5.1 配備棱鏡對準裝置，最小雙視場對準間距≦10mm,； 5.2 對準工作臺調整范圍：X軸±12.5mm,，Y軸±12.5mm，θ角±5°,，Theta精度：±0.0001度,； 6. 其他配置 6.1 進口無油真空泵：壓力25-27mmHg； 6.2 抗震臺,； |
進口 |
合計 |
999600 |
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2023-05-22
06.15
貨物采購合同糾紛法律服務采購結果公示04.25
單一來源采購公示SDDY-20230209.27
山西大學校慶郵資紀念封單一來源采購征求意見公示09.16
信息公告欄目測試04.27
山西大學2022年05月至08月政府采購意向03.18
山西大學2022年教師招聘公告
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